SMC ITV1011-112S/L/N ITV1031-112S/L/N ITV1051-112S/L/N Elektromanyetik Düzenleyici
Basic Properties
Trading Properties
| Ürün Kodu: | ITV1011-112S ITV1031-112S ITV1051-112S ITV1011-112L ITV1031-112L ITV1051-112L ITV1011-112N ITV1031-1 | Gövde Malzemesi: | Alüminyum |
|---|---|---|---|
| Mühür Materyal: | NBR | Çalışma Basıncı: | 0.1~1.0MPa |
| Çalışma Sıcaklığı Aralığı: | 0~50°C (Yoğunlaşma yok) | Bağlantı Noktası Boyutu: | 1/4 " |
| İşlev: | Elektrik Sinyalleri Yoluyla Oransal Basınç Kontrolü | Çalışma Gerilimi: | 12 ila 15 VDC |
| Vurgulamak | garantili elektro pnömatik regülatör,SMC ITV serisi pnömatik regülatör,pnömatik boru bağlantı parçaları regülatör |
||
SMC ITV1011-112S/L/N ITV1031-112S/L/N ITV1051-112S/L/N Elektromanyetik Düzenleyici
Bu düzenleyiciler yarı iletken üretiminde özel uygulamalar bulurlar.Özellikle CMP (kimyasal mekanik düzleştirme) ekipmanlarında, waferler için cilalama baş basıncını kesin bir şekilde kontrol ettiklerindeAynı zamanda itme kontrol sistemlerinde, basın-düzeltme işlemlerinde ve sabit kuvvet uygulamasının kritik olduğu hassas montaj hatlarında da gereklidirler.Alarm çıkış özelliği (X420 modellerinde mevcut) ile, ayar basıncı 5 saniyeden fazla ulaşılmadığında veya korunmadığında derhal uyarı sağlar.
| Malzeme kodu | Basınç aralığı | Güç kaynağı voltajı |
| ITV1011-112S | 0.1 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1031-112S | 0.5 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1051-112S | 0.9 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1011-112L | 0.1 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1031-112L | 0.5 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1051-112L | 0.9 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1011-112N | 0.1 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1031-112N | 0.5 MPa | 12 ila 15 VDC |
| ITV1051-112N | 0.9 MPa | 12 ila 15 VDC |
| Model | ITV101□ | ITV103□ | ITV105□ | |
| ITV201□ | ITV203□ | ITV205□ | ||
| ITV301□ | ITV303□ | ITV305□ | ||
| Min. besleme basıncı | Ayarlama basıncı + 0.1 MPa | |||
| Maks. besleme basıncı | 0.2 MPa | 1.0 MPa | ||
| Basınç aralığı ayarlayın | 00,005 ila 0,1 MPa arasında | 00,005 ila 0,5 MPa arasında | 00,005 ila 0,9 MPa arasında | |
| Güç kaynağı | Voltaj | 24 VDC ± 10%, 12-15 VDC | ||
| Mevcut tüketim | Güç kaynağı voltajı 24 VDC tipi: 0.12 A veya daha az Güç kaynağı voltajı 12 ila 15 VDC tipi: 0.18 A veya daha az | |||
| Giriş sinyali | Mevcut tip | 4 ila 20 mADC, 0 ila 20 mADC (Sink tipi) | ||
| Voltaj türü | 0 ila 5 VDC, 0 ila 10 VDC | |||
| Önceden ayarlanmış giriş | 4 puan (Kötü ortak), 16 puan (Kötü ortak polarite yok) | |||
| Dijital giriş | 10 bit (Paralel) | |||
| Giriş impedansı | Mevcut tip | 250 Ω veya daha az | ||
| Voltaj türü | Yaklaşık 6.5 kΩ | |||
| Önceden ayarlanmış giriş | Güç kaynağı voltajı 24 VDC tipi: Yaklaşık 4.7 kΩ Güç kaynağı voltajı 12 VDC tipi: Yaklaşık 2.0 kΩ | |||
| Dijital giriş | Yaklaşık 4.7 kΩ | |||
| Çıkış sinyali (Monitor çıkışı) | Analog çıkış | 1 ila 5 VDC (Giriş impedansı: Yaklaşık 1 kΩ) 4 ila 20 mADC (Sink tipi) (Giriş impedansı: 250 Ω veya daha az) Giriş doğruluğu ±6% F.S veya daha az | ||
| Anahtar çıkışı | NPN açık kolektör çıkışı: Max. 30 V, 80 mA PNP açık kolektör çıkışı: En fazla 80 mA |
|||
| Doğruluk | ± 1% F.S. veya daha az | |||
| Histeriz | 0% 5 veya daha az F.S. | |||
| Tekrarlanabilirlik | ± 0,5% F.S. veya daha az | |||
| Duyarlılık | 0% 2 veya daha az F.S. | |||
| Sıcaklık özellikleri | ±0,12% F.S./°C veya daha az | |||
| Çıkış basıncı göstergesi | Doğruluk | ±2% F.S. ±1 basamak veya daha az | ||
| Min. birim | MPa: 0.001, kgf/cm2: 0.01, çubuk: 0.01, psi: 0.1, kPa: | |||
| Çevre ve sıvı sıcaklıkları | 0 ila 50°C (Kondans yok) | |||
| Kapalı | IP65 | |||
| Ağırlık | ITV10□□ | Yaklaşık 250 g (Optional olmadan) | ||
| ITV20□□ | Yaklaşık 350 g (Optional olmadan) | |||
| ITV30□□ | Yaklaşık 645 g (Seçimsiz) | |||






Contact Person: Mr. Jaren
telefon: 86-152-5785-8856
Faksla.: 86-152-57858856